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“又失败了。”
倪老的声音嘶哑,带着一丝不易察觉的颤抖。他缓缓直起身,摘下老花镜,用力揉了揉眉心。
连续三十六个小时钉在这台机器旁,他的体力已逼近极限,但眼神里的火焰却烧得更旺。
这该死的、逼近物理极限的1纳米节点,每一步都像是在刀尖上跳舞。
“倪老!”一个同样沙哑声音响起。凯文,这个团队里最富冲劲的天才,此时也已经年仅六旬,他顶着鸟窝般的乱发,手里挥舞着刚从超级计算机跑出来的模拟数据报告,几乎是冲了过来。
“模型结果出来了!问题很可能出在光刻胶的链式反应上!能量剂量和曝光时序的耦合效应比我们预想的还要敏感!尤其是这个‘拐点’……”
他指着报告上一条陡峭攀升的曲线:
“看这里!能量波动哪怕只有5%,在那个毫秒级的曝光窗口,就足以引发局部过曝,形成黑线!”
倪老浑浊的眼睛瞬间锐利起来,像鹰隼锁定了猎物。
他一把抓过报告,浑浊的目光紧紧锁住凯文指出的那处陡峭曲线。“5%?毫秒级窗口?”