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“王董,你稍等下,这种严密的技术性问题,我也不在行,可否让我录个视频,回去给专家院士看?”

“没问题。”王逸摆了摆手。

“谢谢!”秦主任和蔼一笑,当即拿出星逸xphone 1,打开视频录制:“好了,王董,请继续说。”

王逸点点头:“众所周知,阿斯麦的EUV光刻机之所以厉害,能做到5纳米以下的芯片制程,就是因为它能制造5纳米的极紫外光源,这种光源是未来5纳米以下制程芯片的关键。”

“而DUV光刻机的深紫外光源,最多能制造10纳米芯片。通过多重曝光技术,才能量产7纳米,5纳米。甚至5纳米的良品率都不高,成本却不低。至于5纳米以上的4纳米,3纳米,那更不现实,只能靠EUV光刻机的极紫外光源。”

“同样,我们本质上需要的不是EUV光刻机,而是5纳米的极紫外光源!”

“EUV光刻机我们目前造不了,未来难度也很大。但是我们反其道而行,通过其他方式,实现极紫外光源,也能制造出4纳米,3纳米,甚至2纳米,1纳米芯片。”

“比如我之前提到的光刻厂!”王逸顿了顿,继续道:

“建一个光刻厂,通过粒子对撞,实现极紫外光源,然后通过光刻厂的模式,实现EUV光刻机的效果。”

……

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