第435章 芯片自研自产!收购中芯国际的晶圆厂? (第15/23页)
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至于阿斯麦的EUV,目前还不成熟,正式投用还得好几年。
因为王逸的提议,提前追赶,前途可期。
“那再好不过,我相信国家机器的力量。”王逸笑说。
像是DUV光刻机,星逸科技要做,十年都难。
官方要做,有国家机器全力支持,五年就差不多搞定14纳米的DUV。
后续不断迭代升级,逐步提高精准度,达到10纳米,7纳米,不在话下。
毕竟阿斯麦2003年推出了第一代浸没式DUV 1250i,最初也是造45纳米芯片的。
后续不断对DUV光刻机的光源、光学系统、套刻精度、温控等方面,进行全方位升级。
这才逐渐实现了32-28纳米工艺,以及后续的20-16纳米工艺,再到10纳米节点、7纳米节点,以及十年后的5纳米节点。
前世DUV国产光刻机之所以迟迟不量产,主要原因就是要求高,起步高。